Matériel

Équipements du laboratoire de fabrication et caractérisation de microsystèmes.

Équipement Fonction
Aligneuse KS MJB3 Permet de faire de la lithographie optique avec une résolution inférieure à 1 micron sur des substrats de 2 pouces de diamètre ou moins.
Aligneuse OAI Permet de faire de la lithographie optique avec une résolution inférieure à 1 micron sur des substrats de 4 pouces de diamètre ou moins. Permet aussi de faire de la lithographie par impression.
Tournette Laurell Étalement de la photo-résine.
Imprimante de matériaux DMP-2831 Dépôt par écriture directe de polymères et semi-conducteurs organiques avec des résolutions de 10 microns.
Nanoscript de Nanoink Système de dépôt par mouillage. Permet de faire le dépôt par écriture directe avec des résolutions de 100 nm. Il peut aussi être utilisé en mode AFM pour la caractérisation.
Évaporateur Alcatel Système de dépôt par évaporation pour les métaux et les semiconducteurs organiques.
Banc de test optique Système pour la mesure de l’électroluminescence
Microscope Nikon Caractérisation optique.
Système quatre pointes Mesures de résistivité.
Kithley 2400, 2601 Mesures électriques.
Système de déposition de Parylène SCS PDS 2010 Dépôt de couches nanométriques de parylène.
Système plasma Diener Plasma Systems Traitement et gravure de matériaux organiques.
Profilomètre Dektak xT DXT-A Mesure de la topographie nano et micro métrique de couches minces.

 
Équipements du laboratoire de fabrication et caractérisation de microsystèmes.

Équipement Fonction
Analyseur de réseau PNA-X Permet de mesurer les paramètres de circuits jusqu’à 50 GHZ.
Analyseur de spectre PSA Permet de mesure le spectre électromagnétiques jusqu’à 50 GHz.
Puissance-mètre EPM Permet de mesure la puissance d’un signal jusqu’à des fréquences de 50 GHz.
Station sous-pointes Permet de sonder des circuits intégrés. Cet équipement est utilisé en conjonction avec l’analyseur de réseau et l’analyseur de spectre.
Photoplotter Système d’impression de masque pour la réalisation de circuits imprimés.
Laminateur RLM419 Système utilisé pour laminer la résine sur les circuits imprimés.
Développeur ultraviolet Système utilisé pour développer la résine.
Système de lithographie Jet 34 D Système pour faire la gravure du circuit imprimé.
Fraiseuse pour circuits imprimés Système permettant de réaliser du micro-usinage de circuit et de boitier.

 
Équipements du laboratoire de caractérisation de circuits intégrés.

Équipement Fonction
Oscilloscope – MSO71254C Mesures temporelle de signaux analogiques et numériques hyperfréquence (<12.5GHz).
Générateur de signaux arbitraires – AWG7082C Génération de signaux analogiques ou numériques hyperfréquences (<16GSps).
Système PXI Caractérisation électrique et optique de MEMS.
Émulateur de canal – ACE MX2 Émulation de canaux sans fils à multi entrées et sorties.
Plateformes de radio logiciel (USPR N210 et E210 + WARPv3) Établissement de réseaux de communications sans-fil cognitifs et agiles.

 
Équipements du laboratoire de caractérisation de systèmes optiques.

Équipement Fonction
Table optique de 8 pieds PTR12109-AL Plateforme pour faire le montage et le test de systèmes intégrés optiques.
Micro-positionneurs Thorlabs Nanomax 300 MD630A Système d’alignement nanométrique pour guides d’ondes optiques.

Unité de programmes de systèmes intelligents

L’unité de programmes de systèmes intelligents dessert plusieurs programmes, innovateurs, offrant aux étudiants l’opportunité d’entreprendre une carrière dynamique dans le secteur effervescent des technologies de pointe. Ces programmes visent à former des spécialistes aptes à imager et concevoir des applications qui font partie intégrante de nos vies : télécommunications, capteurs environnementaux, équipement biomédical, systèmes embarqués.

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